半導體專用氫氣發(fā)生器采用固態(tài)聚合物電解質（SPE）或質子交換膜（PEM）技術，以純水為原料電解制氫，無需堿液，純度可達99、999%-99、9999%，滿足CVD、MOCVD等工藝對高純氣體的嚴苛要求。設備集成微電腦控制系統(tǒng)，可實時監(jiān)測并自動調節(jié)壓力與流量，確保輸出穩(wěn)定性。
正確使用方法：
1、啟動前的準備工作
檢查水源
確保供水系統(tǒng)正常工作，水質符合要求。通常建議使用去離子水以減少雜質對電解反應的影響。定期更換或清潔水過濾器，確保供水質量。
校準傳感器
啟動前應校準壓力傳感器、濕度傳感器和其他關鍵傳感器，確保其讀數(shù)準確。校準頻率根據(jù)制造商的建議進行，通常每半年一次。
設置參數(shù)
根據(jù)工藝需求，在控制面板上設置適當?shù)倪\行參數(shù)，如產(chǎn)氫量、壓力設定值、冷卻液溫度等。確保所有參數(shù)設置合理，以獲得良好性能。
2、操作步驟
開啟電源
打開氫氣發(fā)生器的主電源開關，并檢查電源指示燈是否亮起。確認電壓穩(wěn)定且符合設備要求。
啟動電解槽
待電源系統(tǒng)穩(wěn)定后，按下啟動按鈕啟動電解槽。此時應密切監(jiān)控顯示屏上的實時數(shù)據(jù)，確保電解反應平穩(wěn)進行。若發(fā)現(xiàn)異常，立即停止操作并排查原因。
監(jiān)控運行狀態(tài)
在整個運行過程中，定期檢查各傳感器的讀數(shù)，確保氫氣壓力、溫度、濕度等參數(shù)處于正常范圍內(nèi)。同時，注意觀察是否有任何泄漏跡象，及時處理潛在問題。
氣體輸出
當氫氣達到所需純度和壓力時，打開出口閥門，將氫氣輸送到指定的使用點。確保管道連接緊密，防止氣體泄漏。
1、氫氣純度不足
現(xiàn)象描述：
氫氣純度低于設定標準，影響半導體制造工藝質量。
解決方法：
（1）更換或再生凈化材料：定期檢查并根據(jù)需要更換吸附劑或催化劑，確保它們處于良好工作狀態(tài)。
（2）系統(tǒng)泄漏檢測：使用高靈敏度檢漏儀檢查整個系統(tǒng)的密封性，尤其是連接點和閥門處，防止外界空氣混入降低氫氣純度。
（3）優(yōu)化過濾系統(tǒng)：確保前置過濾器和后置過濾器正常工作，并定期清洗或更換濾芯以去除雜質。
2、產(chǎn)氫量不穩(wěn)定
現(xiàn)象描述：
輸出氫氣流量波動較大，不能滿足生產(chǎn)工藝需求。
解決方法：
?。?）調整供水量：如果采用電解水制氫方式，檢查供水泵是否正常工作，保證進入電解槽的水量穩(wěn)定。
（2）校準流量控制器：根據(jù)制造商提供的指南校準流量控制器，確保精確控制氫氣輸出量。
（3）維護電解槽：定期清理電解槽內(nèi)部沉積物，保持電極表面清潔，提高電解效率。
3、故障報警頻繁
現(xiàn)象描述：
經(jīng)常出現(xiàn)異常報警，如過熱、壓力過高或傳感器故障等。
解決方法：
?。?）環(huán)境溫度控制：確保設備周圍環(huán)境溫度適宜，避免因過熱導致的保護機制啟動。必要時增加散熱措施。
?。?）電氣系統(tǒng)檢查：定期檢查所有電氣連接是否牢固，排除虛接或接觸不良的情況。
?。?）軟件更新與復位：對于由控制系統(tǒng)引起的誤報，嘗試更新軟件版本或執(zhí)行硬件復位操作。
4、維護成本高昂
現(xiàn)象描述：
由于頻繁維修或更換部件，導致運營成本上升。
解決方法：
?。?）預防性維護計劃：制定詳細的預防性維護計劃，包括定期檢查關鍵組件的工作狀態(tài)，提前發(fā)現(xiàn)潛在問題。
?。?）選用高質量耗材：在預算允許的情況下，優(yōu)先選擇耐用且性能穩(wěn)定的耗材，減少因質量問題帶來的額外開銷。
?。?）培訓操作人員：提供專業(yè)培訓，使操作人員掌握正確的使用方法和基本故障排查技巧，降低人為因素造成的損壞幾率。
半導體專用氫氣發(fā)生器通過上述針對性措施可以有效應對在使用過程中遇到的各種問題，不僅提高了設備的可靠性和工作效率，還降低了總體運營成本。此外，加強日常維護保養(yǎng)也是預防故障發(fā)生的重要手段之一。
