金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器的規(guī)范定期維護(hù)保養(yǎng)方法分享
在微波等離子體化學(xué)氣相沉積(MPCVD)法制備高質(zhì)量單晶或納米金剛石過程中，高純氫氣(≥99.9999%)不僅是等離子體激發(fā)的載氣，更是碳源裂解與金剛石生長的關(guān)鍵反應(yīng)介質(zhì)。金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器的穩(wěn)定性直接決定薄膜純度、生長速率與設(shè)備安全?？茖W(xué)規(guī)范的定期維護(hù)金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器，是保障氫穩(wěn)、壓準(zhǔn)、水凈的核心。
一、每日運(yùn)行前后基礎(chǔ)檢查
觀察產(chǎn)氣狀態(tài)：確認(rèn)出口氣壓穩(wěn)定(通常0.3-0.6MPa)，無異常波動(dòng)或報(bào)警；
檢查電解液液位：使用高純?nèi)ルx子水(電阻率≥18.2MΩ·cm)，液位應(yīng)在MAX/MIN標(biāo)線之間；
聽運(yùn)行噪音：正常為低頻嗡鳴，若出現(xiàn)嘯叫或爆裂聲，可能氣液分離異常。
二、每周例行保養(yǎng)
清潔氣液分離器：排空冷凝水，用無油壓縮空氣吹掃內(nèi)部濾芯，防止水汽帶入MPCVD腔體；
檢查干燥系統(tǒng)：更換或再生分子篩/鈀膜干燥模塊(視露點(diǎn)儀讀數(shù)，要求≤-70℃)；
擦拭外殼與散熱孔：防止粉塵堆積影響散熱，尤其在潔凈室環(huán)境中需防靜電處理。
三、每月深度維護(hù)
電解槽性能檢測：
測量產(chǎn)氫純度(使用便攜式氫分析儀)，若O2或H2O雜質(zhì)>1ppm，需清洗電解池；
檢查電極板是否有結(jié)垢或腐蝕，必要時(shí)用稀檸檬酸溶液循環(huán)清洗；
管路密封性測試：關(guān)閉出口閥，保壓0.5MPa30分鐘，壓降應(yīng)<0.01MPa；
校準(zhǔn)壓力傳感器與流量計(jì)：確保MPCVD工藝氣體配比精準(zhǔn)。
四、每季度專業(yè)維護(hù)
更換核心耗材：
電解質(zhì)(如KOH溶液，部分機(jī)型為固態(tài)PEM膜)；
高效過濾器(0.01μm級(jí))、脫氧催化劑及干燥劑；
電氣系統(tǒng)檢查：測試電源模塊絕緣電阻、接地連續(xù)性及過載保護(hù)功能；
備份控制參數(shù)：導(dǎo)出運(yùn)行日志與報(bào)警記錄，用于趨勢分析。
