在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，氫氣作為外延生長(zhǎng)、晶圓清洗、化學(xué)氣相沉積(CVD)等關(guān)鍵工藝的核心介質(zhì)，其純度與穩(wěn)定性直接決定芯片良率。普拉勒半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器以“匠心鑄品”為理念，融合國際技術(shù)與精密制造工藝，打造出適配半導(dǎo)體高嚴(yán)苛需求的供氣設(shè)備，顛覆傳統(tǒng)高壓鋼瓶供氫模式，成為高端半導(dǎo)體生產(chǎn)的可靠伙伴。
 

　　核心技術(shù)的深耕細(xì)作，是普拉勒匠心的核心體現(xiàn)。設(shè)備采用先進(jìn)的SPE固態(tài)電解質(zhì)技術(shù)，以超純水為原料，無需添加堿性電解液，從源頭杜絕雜質(zhì)引入。其搭載英國原裝研發(fā)的Nafion質(zhì)子交換膜與貴金屬電極，通過精準(zhǔn)的電化學(xué)反應(yīng)將水分子分解為氫氣與氧氣，配合鈀膜純化+多級(jí)過濾雙重凈化系統(tǒng)，可穩(wěn)定輸出純度高達(dá)99.99999%的超高純氫氣，雜質(zhì)含量控制在0.1ppm以下，契合半導(dǎo)體原子級(jí)工藝對(duì)氣體潔凈度的要求。
 

　　精密制造與智能調(diào)控的融合，彰顯匠心細(xì)節(jié)。設(shè)備采用一體化微電腦控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)壓力、流量的精準(zhǔn)閉環(huán)調(diào)控，壓力穩(wěn)定性誤差小于0.001MPa，可根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)線的動(dòng)態(tài)需求實(shí)時(shí)適配產(chǎn)氣量，范圍覆蓋1L-17L/min。針對(duì)潔凈車間布局需求，其采用緊湊式設(shè)計(jì)，占用空間小且安裝便捷，內(nèi)部選用低硫硅橡膠圈等優(yōu)質(zhì)配件，有效避免氣體二次污染，保障色譜基線平穩(wěn)，為精密工藝提供穩(wěn)定氣源支撐。
 

　　本質(zhì)安全設(shè)計(jì)，筑牢生產(chǎn)防線。傳統(tǒng)高壓鋼瓶存有的高壓存儲(chǔ)、運(yùn)輸泄漏等風(fēng)險(xiǎn)，一直是半導(dǎo)體潔凈車間的安全隱患。普拉勒發(fā)生器采用“按需制氫、即產(chǎn)即用”模式，系統(tǒng)內(nèi)氫氣存量極小，在常壓至0.5MPa低壓環(huán)境下運(yùn)行，從根源上消除爆炸風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)集成多重智能防護(hù)：高靈敏度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氫氣濃度，超標(biāo)即聲光報(bào)警并停機(jī)；缺水時(shí)自動(dòng)切斷電源防止電解槽干燒；過壓、超溫保護(hù)裝置守護(hù)設(shè)備運(yùn)行，構(gòu)建起主動(dòng)防御的安全體系。
 

　　運(yùn)維便捷性與耐用性的優(yōu)化，踐行匠心承諾。設(shè)備具備自動(dòng)補(bǔ)水功能，水量低于15%時(shí)可通過外置水箱自動(dòng)補(bǔ)給，一次加水可持續(xù)工作15天，無需停機(jī)操作，避免生產(chǎn)線中斷。其電解池采用耐腐蝕材質(zhì)，配合智能溫度控制，顯著延長(zhǎng)使用壽命，且支持多組并聯(lián)使用，滿足大規(guī)模生產(chǎn)需求。依托普拉勒全球三大生產(chǎn)基地的技術(shù)積淀與全國48小時(shí)上門售后服務(wù)，為半導(dǎo)體企業(yè)提供全生命周期的技術(shù)保障。
 

　　從實(shí)驗(yàn)室精密分析到半導(dǎo)體高端制造，普拉勒以十幾年的氣體發(fā)生器研發(fā)經(jīng)驗(yàn)為基石，將匠心融入每一個(gè)技術(shù)細(xì)節(jié)與制造環(huán)節(jié)。這款半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器不僅實(shí)現(xiàn)了供氫模式從“被動(dòng)防御”到“主動(dòng)安全”的升級(jí)，更以超高純度、穩(wěn)定與便捷運(yùn)維，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入核心動(dòng)力，用匠心之作詮釋高端制造的本質(zhì)。